Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем
Пресс Ф.П.
В книге, написанной известным отечественным специалистом, рассмотрены основные составляющие фотолитографического метода: светочувствительные материалы, собственно технология фотолитографии, практические приемы фотолитографии и применяемое оборудование.
عام:
1978
الناشر:
Сов. радио
اللغة:
russian
الصفحات:
97
ملف:
PDF, 5.97 MB
IPFS:
,
russian, 1978